生產(chǎn)線展示

正式投產(chǎn)

8英寸多晶金剛石晶圓

　　在AI算力躍進(jìn)式發(fā)展的當(dāng)下，高端芯片的高功耗讓散熱成為制約技術(shù)進(jìn)階的“卡脖子”難題。近日，8英寸金剛石熱沉片生產(chǎn)實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破，生產(chǎn)線在河南許昌落成，河南省為破解這一全球性難題提供了“中國方案”，填補(bǔ)了國內(nèi)高端散熱材料領(lǐng)域的空白。

　　從實(shí)驗(yàn)室到量產(chǎn)線：

　　破解高端芯片散熱焦慮

　　金剛石，因通透璀璨，作為珠寶以“鉆石”之名為大眾所熟知，又因其硬度極高，在工業(yè)領(lǐng)域作為磨料而廣泛應(yīng)用。而其另一特性卻鮮為人知，那就是具備極佳的導(dǎo)熱性能。天然金剛石室溫?zé)釋?dǎo)率高達(dá)2000至2200W/(m·K)，約為銅的5倍、鋁的10倍以上，由此，金剛石也被譽(yù)為“終極半導(dǎo)體材料”和熱管理領(lǐng)域的“皇冠明珠”。另外，金剛石兼具電絕緣、高耐壓、高硬度和耐腐蝕特性，使其在AI芯片、5G基站、量子計(jì)算等極端場景中具備不可替代性。

　　隨著AI算力的爆發(fā)、5G通信及新能源汽車等產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，高頻高功率芯片的散熱問題已成為全球性技術(shù)瓶頸。金剛石作為散熱材料的應(yīng)用價值凸顯。

　　據(jù)悉，該條8英寸金剛石熱沉片生產(chǎn)線來自河南風(fēng)優(yōu)創(chuàng)材料技術(shù)有限公司(以下簡稱風(fēng)優(yōu)創(chuàng)公司)。該公司由國內(nèi)超硬材料行業(yè)龍頭黃河旋風(fēng)與國家高新技術(shù)企業(yè)深圳優(yōu)普萊強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，于2025年9月正式設(shè)立。公司依托黃河旋風(fēng)在超硬材料領(lǐng)域的深厚積淀與產(chǎn)業(yè)龍頭地位，結(jié)合深圳優(yōu)普萊在微波等離子體MPCVD(微波等離子體化學(xué)氣相沉積MicrowavePlasmaChemicalVaporDeposition)技術(shù)上的領(lǐng)先優(yōu)勢，專注于MPCVD多晶金剛石晶圓產(chǎn)品的研發(fā)與生產(chǎn)。

　　據(jù)風(fēng)優(yōu)創(chuàng)公司董事長王適介紹，目前主要產(chǎn)品包括6英寸、8英寸的多晶金剛石柔性薄膜及0.1至1毫米的金剛石熱沉片，具有尺寸覆蓋全、熱導(dǎo)率可控、均勻性好等特點(diǎn)，各項(xiàng)指標(biāo)均處于行業(yè)領(lǐng)先水平。這些產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于高功率電子器件、半導(dǎo)體激光器、光模塊、新能源汽車及航天航空等極端環(huán)境下的關(guān)鍵部件。

　　據(jù)介紹，該項(xiàng)目總投資12億元，包括無塵車間、MPCVD設(shè)備以及激光、磨拋等加工設(shè)備。一期投資3.6億元，置備50臺MPCVD設(shè)備，年產(chǎn)將達(dá)到2萬片，可滿足下游芯片封裝企業(yè)的中試需求。

　　產(chǎn)業(yè)協(xié)同的里程碑：

　　贏得全球熱管理賽道話語權(quán)

　　據(jù)公開信息顯示，目前包括日本(住友、EDP等)、歐美(ElementSix、DiamondFoundry等)的國外企業(yè)都尚未實(shí)現(xiàn)8英寸金剛石熱沉片量產(chǎn)，國內(nèi)雖然有企業(yè)在大尺寸金剛石熱沉片領(lǐng)域有深厚積累，但也沒有實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。此次風(fēng)優(yōu)創(chuàng)公司生產(chǎn)線落成，是全球唯一實(shí)現(xiàn)8英寸金剛石熱沉片量產(chǎn)的生產(chǎn)線，為我國在全球半導(dǎo)體熱管理賽道上贏得了寶貴的話語權(quán)。

　　從當(dāng)前行業(yè)生產(chǎn)水平來看，這一生產(chǎn)線的落成，不僅標(biāo)志著國產(chǎn)金剛石熱沉片已具備了與國際巨頭(如ElementSix、住友)同臺競技的實(shí)力，而且是產(chǎn)業(yè)鏈上下游強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合的成果。特別是在AI芯片和5G通信散熱領(lǐng)域，國產(chǎn)領(lǐng)先進(jìn)程正在加速。

　　“熱沉級金剛石晶圓項(xiàng)目前瞻性非常強(qiáng)，是全新的領(lǐng)域、全新的產(chǎn)品。”王適在項(xiàng)目介紹中表示。此外，其還透露，在8英寸金剛石熱沉片量產(chǎn)過程中，攻克了設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性問題，優(yōu)化了沉積工藝等。而量產(chǎn)大尺寸金剛石熱沉片，主要是為了進(jìn)一步解決該類產(chǎn)品生產(chǎn)成本高的問題。

　　深圳優(yōu)普萊董事長全峰在投產(chǎn)儀式上指出，隨著AI算力的指數(shù)級增長，對GPU及算力中心的散熱能力提出了前所未有的挑戰(zhàn)。作為終極散熱材料，金剛石的產(chǎn)業(yè)化已近在咫尺。風(fēng)優(yōu)創(chuàng)此時具備的大尺寸金剛石熱沉片生產(chǎn)交付能力，將使其成為中國AI熱管理供應(yīng)鏈中不可或缺的一環(huán)。

　　產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“許昌模式”：

　　資本與技術(shù)雙輪驅(qū)動

　　風(fēng)優(yōu)創(chuàng)公司的快速落地投產(chǎn)，彰顯了許昌市推動產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的“許昌模式”：以資本為紐帶、以創(chuàng)新為內(nèi)核、以鏈主企業(yè)為牽引，實(shí)現(xiàn)技術(shù)攻關(guān)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化、規(guī)模量產(chǎn)的全鏈條貫通。

　　許昌市圍繞超硬材料產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展，制定出臺了《許昌市培育壯大超硬材料產(chǎn)業(yè)鏈行動方案(2023—2025年)》，明確發(fā)展目標(biāo)及16項(xiàng)重點(diǎn)任務(wù)。依托黃河旋風(fēng)等龍頭企業(yè)，許昌已建成國家級企業(yè)技術(shù)中心、河南省金剛石材料產(chǎn)業(yè)研究院等一批高能級創(chuàng)新平臺，為技術(shù)突破提供了堅(jiān)實(shí)支撐。

　　許昌市投資集團(tuán)黨委書記、董事長楊增君表示，在國家開發(fā)銀行河南省分行的大力支持下，黃河旋風(fēng)與深圳優(yōu)普萊的攜手，孵化出風(fēng)優(yōu)創(chuàng)公司，推動MPCVD金剛石熱沉片技術(shù)實(shí)現(xiàn)了從實(shí)驗(yàn)室到規(guī)模化生產(chǎn)與商業(yè)應(yīng)用的關(guān)鍵跨越。

　　此次生產(chǎn)線的投產(chǎn)，是許昌市超硬材料產(chǎn)業(yè)向高端化、智能化轉(zhuǎn)型的標(biāo)志性成果。“我們將以MPCVD技術(shù)為核心，致力于成為全球質(zhì)量最穩(wěn)定、性能最卓越的多晶金剛石晶圓制造商。”王適表示。